型号规格
功率
幅面(mm)
重复定位精度
台面规格(mm）
驱动方式
速度
Z轴
C3
长
宽
LMX
滚珠丝杆
500x1300
±0.002
800
伺服 直线电机
250
可配置
500x2000
500
直线电机
500x2500
